氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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氦质谱检漏仪的主要配置
北京科创鼎新真空技术有限公司(简称:科创真空)是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。
1. 检漏仪专用分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪专用电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱专用模块
以上是科创真空为您一起分享的内容,科仪创新专业生产氦检漏,欢迎新老客户莅临。
氦质谱检漏的成本控制
氦质谱检漏相对于其他的检漏方法,因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法,使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。
检漏口真空度的控制
根据NB/T 47006 铝制板翅式热交换器中A.5 氦质谱检漏和JB/T 7261 铝制板翅式热换器中漏率要求,检漏口真空度一般要求为:1.33Pa。
在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的,按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求,根据大量的检测经验,将检漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa,这样的一个检漏口真空度并没有降低检测的准确性,但其抽真空所需的电费能减少20%-50%。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶,减少了堆垛层位错能量,降低位错移动的晶界阻抗,从而使位错迁移率增加,促使了钨的固溶软化,此现象称为“莱塑化效应”。